Tanya Jawab Properti Utama Apakah HMDS mudah terbakar?Ya - HMDS tergolong sangat mudah terbakar (titik nyala 17 derajat ). Simpan dan tangani jauh dari semua sumber api di fasilitas-tahan ledakan. |Apakah HMDS larut dalam air?Tidak - HMDS bereaksi dengan air dan udara lembab, terhidrolisis menjadi hexamethyldisiloxane (HMDSO) dan amonia. Semua nilai harus dijaga agar tetap anhidrat. |Apa rumus HMDSnya?C₆H₁₉NSi₂, rumus struktur (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃, MW 161,39 g/mol. |Apakah HMDS beracun?HMDS berbahaya jika terhirup, terkena kulit, dan tertelan. Ini diklasifikasikan sebagai sangat beracun (Kategori 4 oleh GHS). SDS/MSDS lengkap tersedia berdasarkan permintaan. |Apa itu pKa HMDS?PKa asam konjugat (HMDS·H⁺) kira-kira 30 dalam THF, menjadikan HMDS sebagai basa cukup kuat yang banyak digunakan dalam sintesis organik untuk pembentukan enolat dan reaksi deprotonasi.

Spesifikasi	Kelas Industri Perawatan Permukaan / Pengisi	Kelas Farmasi Sintesis Obat (GMP)	Kelas Elektronik Litografi Semikonduktor
Kemurnian (GC)	Lebih besar dari atau sama dengan 98,0%	Lebih besar dari atau sama dengan 99,5%	Lebih besar atau sama dengan 99,999% (5N) hingga 6N untuk node tingkat lanjut
Kadar air	Kurang dari atau sama dengan 0,1%	Kurang dari atau sama dengan 0,02%	Kurang dari atau sama dengan 0,005% (Kurang dari atau sama dengan 50 ppm)
Warna (Pt-Co)	Kurang dari atau sama dengan 30	Kurang dari atau sama dengan 10	Kurang dari atau sama dengan 5
Titik didih	125–127 derajat	126,0–126,5 derajat	126,2 ± 0,2 derajat
Titik nyala	17 derajat (cangkir tertutup)	17 derajat (cangkir tertutup)	17 derajat (cangkir tertutup)
Kotoran Logam	Tidak ditentukan	Ion tunggal Kurang dari atau sama dengan 10 ppm	Ion tunggal Kurang dari atau sama dengan 1 ppb (tingkat ppt untuk node 14nm)
Umur Simpan	6 bulan (N₂-disegel)	12 bulan (N₂-tersegel, gelap)	18 bulan (sangat-N₂-bersih tersegel)
Kemasan	drum baja 180 kg Tas jinjing IBC 1000kg	Drum HDPE 20L 200L N₂-drum baja tersegel	Drum berlapis kuarsa 10L- Drum baja ultra bersih 200L-

1. Litografi Semikonduktor - Promotor Adhesi Fotoresist

HMDS adalah-standar industripromotor adhesi, primer, dan zat pelapis hidrofobikdalam litografi wafer silikon, terhitung lebih dari40% dari total konsumsi HMDS. Diterapkan sebagai primer fase uap (VPP) sebelum pelapisan fotoresist, HMDS bereaksi dengan gugus hidroksil permukaan (Si–OH) pada wafer untuk membentuk lapisan trimetilsilil hidrofobik yang padat. Hal ini secara dramatis meningkatkan daya rekat photoresist, mencegah pengelupasan resistan selama pengembangan, dan menghilangkan pembentukan manik tepi - memastikan pola sirkuit halus yang akurat hingga keNode 28nm dan di bawahnya.

Seiring kemajuan node semikonduktor canggih ke 14nm, 7nm, dan seterusnya, persyaratan kemurnian telah meningkat menjadiNilai 5N (99,999%) dan 6N, dengan pengotor logam dikontrol pada tingkat ppb–ppt. Produk HMDS kelas-elektronik kami menggunakan teknologi penghilangan logam jejak yang canggih, memenuhi standar kualifikasi pabrik terkemuka termasuk SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory, dan UMC.

Referensi:Standar SEMI - Kemurnian Bahan Semikonduktor ↗

2. Industri Farmasi - Agen Sililasi untuk Sintesis Obat

Dalam sintesis farmasi, HMDS banyak digunakan sebagaiagen sililasiuntuk melindungi gugus fungsi protik reaktif (–OH, –NH₂, –COOH) dalam zat antara obat, mencegah reaksi samping yang tidak diinginkan dan secara signifikan meningkatkan selektivitas reaksi dan hasil produk target. Ini adalah reagen utama dalam sintesis bahan aktif farmasi (API) anti-tumor, antivirus, dan antialergi.

HMDS-tingkat farmasi kami (Kemurnian lebih dari atau sama dengan 99,5%,-kompatibel dengan GMP) telah divalidasi oleh perusahaan CDMO farmasi terkemuka dan memberikan kualitas batch stabil yang penting untuk penelitian dan pengembangan obat serta-manufaktur skala besar.

Referensi:Farmakope Amerika Serikat (USP) ↗

3. Bahan & Perawatan Permukaan - Agen Hidrofobisasi

HMDS adalah cara yang sangat efektifagen hidrofobisasiuntuk bahan pengisi anorganik seperti silika berasap dan titanium dioksida. Modifikasi permukaan dengan HMDS secara signifikan meningkatkan kompatibilitas pengisi-matriks pada komposit karet silikon dan resin epoksi, meningkatkan sifat mekanik (ketangguhan, kekuatan tarik) dan ketahanan terhadap cuaca. Ini banyak digunakan dalam bahan enkapsulasi OLED dan perawatan kaca modul fotovoltaik, di mana permukaan yang dimodifikasi HMDS-menunjukkan kinerja penghalang kelembapan yang jauh lebih baik, sehingga memperpanjang masa pakai di lingkungan luar ruangan yang keras.

Untukperawatan permukaan kaca, keramik, dan logam, HMDS membentuk film hidrofobik padat yang terikat secara kovalen yang mencegah penyerapan air dan korosi.

Referensi:PubChem - Heksametildisilazana (NIH) ↗

4. Kimia Analitik & Bahan Kimia Halus

Dalam kimia analitik, HMDS digunakan sebagai areagen derivatisasiuntuk analisis GC senyawa protik (alkohol, fenol, asam karboksilat). Turunan tersililasi menunjukkan volatilitas yang lebih tinggi dan pemisahan kromatografi yang lebih baik, memungkinkan analisis kuantitatif yang tepat terhadap zat-zat jejak dalam matriks kompleks.

Dalam bahan kimia halus, HMDS berfungsi sebagai perantara surfaktan silikon kelas atas dan resin silikon yang digunakan dalam bahan kimia sehari-hari dan pencetakan tekstil. Pasar HMDS-kelas elektronik diproyeksikan tumbuh pada CAGR sebesar 18,3% hingga tahun 2026, didorong oleh percepatan lokalisasi semikonduktor dan perluasan kapasitas CDMO farmasi.

Referensi:Pendaftaran ECHA REACH - HMDS ↗

5. HMDS sebagai Basis - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS

Di luar perannya sebagai agen sililasi, HMDS adalah prekursor utama dari basa logam amide yang banyak digunakan:LiHMDS(litium heksametildisilazida, litium bis(trimetilsilil)amida),NahHMDS(natrium heksametildisilazida), danKHMDS(kalium heksametildisilazida). Basa kuat dan terhambat ini merupakan reagen penting dalam farmasi dan sintesis kimia halus untuk pembentukan enolat selektif, deprotonasi terarah, dan reaksi asimetris yang memerlukan curah sterik dan kemoselektivitas sangat penting.

LiHMDS(CAS 4039-32-1) adalah yang paling banyak digunakan, dihargai karena kebasaannya yang tinggi (pKa ~30 dalam THF) dan kelarutannya yang sangat baik dalam pelarut halus.NahHMDSDanKHMDSmenawarkan peningkatan reaktivitas dan digunakan ketika LiHMDS tidak cukup reaktif. Ketiganya dibuat dari HMDS sebagai bahan awal utama, sehingga-pasokan HMDS dengan kemurnian tinggi sangat penting untuk produksinya.

Kami menyediakan HMDS{0}}kemurnian tinggi yang cocok sebagai bahan baku untuk produksi LiHMDS, NaHMDS, dan KHMDS. Hubungi kami untuk spesifikasi massal.

⚠️ CATATAN KESELAMATAN KRITIS:HMDS adalahsangat mudah terbakar(titik nyala 17 derajat ) dan bereaksi hebat dengan air, melepaskan amonia. Simpan dan tangani secara eksklusif di lingkungan-yang dilindungi nitrogen dan tahan ledakan. Jangan gunakan air untuk memadamkan api HMDS.

Kiat penetapan harga massal:Pesanan di atas 50 MT biasanya memenuhi syarat untuk mendapatkan diskon 5–10%; 200+ Kontrak MT/tahun dapat menghasilkan penghematan 10–15%. Pengiriman truk tangki mengurangi pengiriman per-unit sebesar 8–12% dibandingkan pengemasan drum. Perjanjian{11}}jangka panjang (1–3 tahun) mencakup alokasi pasokan prioritas selama musim puncak permintaan semikonduktor.Minta penawaran harga HMDS khusus →

T: Apa kepanjangan dari HMDS? Apa itu bentuk lengkap HMDS?

HMDS adalah singkatan dariHeksametildisilazana- nama kimia lengkapnya adalah 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, juga ditulis sebagai hexa methyl disilazane. Dalam kimia, HMDS secara khusus mengacu pada senyawa organosilikon (CAS 999-97-3) dengan struktur (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Catatan: "HMDS" juga digunakan sebagai singkatan dalam bidang yang tidak terkait (misalnya, konteks medis, militer, atau pertanian), namun dalam konteks kimia dan manufaktur semikonduktor, HMDS selalu berarti heksametildisilazana.

T: Untuk apa HMDS digunakan dalam pembuatan semikonduktor?

HMDS digunakan sebagai promotor adhesi-fase uap (primer) yang diterapkan pada permukaan wafer silikon sebelum pelapisan fotoresist. Ia bereaksi dengan gugus Si–OH permukaan untuk membentuk monolayer trimetilsilil hidrofobik, yang secara dramatis meningkatkan adhesi fotoresist, mencegah delaminasi selama pengembangan basah, dan memastikan keakuratan dimensi pola sirkuit halus. Ini adalah bahan proses standar di hampir semua pabrik wafer silikon secara global, mulai dari lini litografi EUV 200mm yang lama hingga-tercanggih 300mm.

Q: Apa perbedaan antara HMDS Kelas Industri dan Kelas Elektronik?

Kelas Industri (Lebih besar dari atau sama dengan 98,0%) cocok untuk perawatan permukaan bahan pengisi (silika berasap, TiO₂), pelapis, dan aplikasi sililasi umum di mana kandungan logam jejak tidak terlalu penting. Tingkat Elektronik ( Lebih besar atau sama dengan 99,999%, 5N) memerlukan pengotor logam individual di bawah 1 ppb - yang wajib untuk litografi semikonduktor di mana kontaminasi logam sub-ppb akan menyebabkan kegagalan perangkat. Electronic Grade dikemas dalam kondisi ultra-bersih ISO 14644 dalam drum baja ultra-berlapis kuarsa atau bersertifikat, dengan setiap batch disertai laporan logam jejak ICP-MS yang lengkap.

T: Mengapa HMDS bereaksi dengan air, dan bagaimana cara menyimpannya?

HMDS mengandung ikatan Si–N–Si yang sangat rentan terhadap hidrolisis: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Amonia yang dilepaskan menciptakan penumpukan tekanan dalam wadah tertutup, dan hexamethyldisiloxane (HMDSO) yang dihasilkan mencemari produk. Oleh karena itu, semua kualitas harus disimpan di bawah nitrogen kering dalam wadah tertutup, pada suhu 0–25 derajat, jauh dari sumber kelembapan. Wadah yang terbuka harus segera-disegel kembali dan dilapisi dengan nitrogen setelah digunakan.

Q: Apa itu HMDS dan apa bedanya dengan HMDSO?

HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) mengandung ikatan Si–N–Si dan merupakan reagen sililasi aktif. HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) mengandung ikatan Si–O–Si dan merupakan produk samping hidrolisis dari HMDS - HMDSO jauh lebih tidak reaktif. HMDS digunakan sebagai pengubah permukaan kimia dan reagen sililasi; HMDSO digunakan terutama sebagai cairan silikon non-reaktif dan bahan baku untuk sintesis HMDS. Keduanya tidak boleh tertukar ketika menentukan bahan untuk litografi atau proses farmasi.

T: Sertifikasi apa yang harus saya minta dari pemasok HMDS?

Untuk aplikasi industri: ISO 9001 (manajemen mutu) dan ISO 14001 (lingkungan). Untuk tingkat farmasi: Kepatuhan terhadap GMP, kemampuan untuk menyediakan-COA yang direferensikan USP/EP, dan-laporan QC pihak ketiga. Untuk tingkat elektronik: konfirmasi kualifikasi pabrik semikonduktor hilir (misalnya, sertifikasi SMIC, UMC), kepatuhan standar bahan SEMI F47 atau setara, laporan lengkap jejak logam ICP-MS per batch, dan kemasan bersih bersertifikasi ISO 14644. Semua nilai harus memiliki registrasi REACH dan TSCA terkini untuk ekspor internasional.

T: Apa saja alternatif utama selain HMDS, dan kapan HMDS lebih disukai?

Alternatif bahan silatasi yang umum meliputi trimethylchlorosilane (TMCS), N-metil-N-trimethylsilylacetamide (MSA), dan N,O-bis(trimethylsilyl)acetamide (BSA). HMDS lebih disukai ketika kondisi reaksi ringan diperlukan (tidak ada produk sampingan HCl), ketika hasil sililasi yang tinggi sangat penting, atau ketika proses memerlukan kontaminasi minimal dari produk sampingan yang bersifat asam atau korosif - menjadikannya pilihan standar untuk pengolahan wafer semikonduktor dan sintesis farmasi. Untuk hidrofobisasi industri massal yang faktor utamanya adalah biaya, TMCS dapat digunakan sebagai alternatif-biaya yang lebih rendah.